招标公告
深硅刻蚀机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金，出资比例共为100%。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受淮海工业集团 （招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。 1. 招标范围 1.1 货物名称：深硅刻蚀机 1.2 招标编号：0779-24400724A005 1.3设备技术要求： 1)设备配有1套深硅刻蚀工艺腔室，主要包括主机、加热系统、冷却系统、真空系统、静电吸盘、手臂传输腔室、射频源等; 2)适用工艺类型:硅-玻璃键合片和硅片刻蚀； 3)适用晶圆尺寸:4英寸晶圆; 4)夹具类型:4英寸静电吸盘及传输手臂; 5)硅-玻璃键合片(硅结构有背腔)，在暴露面积≥30%时，刻蚀后表面干净，无“掉渣”及“长草”现象; 6)工控系统基于 Windows7 及以下版本的操作系统； 7) 硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm。 1.4 数量：1台 1.5 交货期：合同签订后12个月内 1.6 项目现场：山西省长治市潞州区淮海工业集团 。 2. 对投标人的资格要求 2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。 2.2本次招标接受代理商投标，代理商应获得制造商的有效授权，须提供正本（制造商的有效授权书包括制造商直接开具的；或制造商在中华人民共和国关境内的独资公司开具的；或经制造商授权并允许其再授权的单位开具的）。 2.3本次招标不接受联合体投标。 2.4投标人必须向招标代理机构 3. 招标 4.未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：365trade
