谈判采购公告
公告编号：DZXYGG202407230003
一、采购项目基本情况
采购项目编号：DZCGXY202407230002
采购项目名称：PENKIE1 对位报警维修
采购内容或范围：
是否采用费率寻源：否
二、供应商资格要求
1. wafer loader传输重复性:A/VR<±10um，repeatability<15um，测量次数为60次，连续7天。
2. 每日对位报警次数降低90%:现状每日报警70—100次），即不超过8次。（统计一个月数据为准）
3. 该设备能够作业:该设备能够作业一次光刻
4. 保修期:保修期半年
三、
咨询电话：010-51957458
联系人：李工
传真：010-51957412
手机：18811547188
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
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来源：中国电力招标采购网
