日 期：2024年 12 月 12 日
招标编号：0722-244JT2881ZB7
项目名称：硅刻蚀设备（重新招标）
受联合微电子中心 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 12 月 12 日发布招标公告。
本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
1.1 项目概况：全新硅刻蚀设备1套 。
1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。
1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。
2. 招标内容
2.1 项目实施
2)满足以下要求：单晶硅、多晶硅以及介质材料氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、聚酰亚胺等的刻蚀腔，对下层材料如硅、氧化硅、氮化硅、金属氧化物等等有较高选择比。
2.3交货时间：自合同签订后的6个月内完成设备发货，入场后设备装机与调试不超过60个工作日。
3.投标人资格要求
3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。
3.3本次招标不接受转包、分包或联合体投标。
3.4应标型号设备2022年以来至今在国内8寸&12寸晶圆FAB厂的装机数量不少于10台，且需要提供证据证明（采购合同、验收报告、客户
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：mofcom
